技術(shù)指標(biāo)：
上臺面為6mm厚430系列（1Cr17）鐵磁不銹鋼；
下底面為4-6mm碳鋼，表面噴黑塑處理；
平面度：0.02~0.05mm/600mm*600mm；
固有頻率：＜1.0～1.5Hz，同負(fù)載情況相關(guān)
孔距：25mm*25mm，孔徑：M6
固有頻率＜1.0～1.5Hz，振幅≤0.8um ,表面粗糙度≤0.8um ，空氣輸出壓力：0.3～0.4MPa
說明：
SQT系列精密氣浮隔振平臺由增強(qiáng)型不銹鋼臺面，空氣阻尼隔振系統(tǒng)，支架組成。臺面為三層夾心式蜂窩結(jié)構(gòu)，支架為整體焊接式，帶膠輪方便移動。臺面+支架中心高度800mm；固有頻率＜1.0～1.5Hz，合用于光通信，激光，半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)線、實驗室以及配合高端顯微鏡、檢測設(shè)備使用。 重復(fù)定位精度：±0.05mm
選型表：
產(chǎn)品型號 | 整體規(guī)格（mm） | 臺面厚度（mm） | 臺面重量（Kg） | 支撐腿橫截面尺寸（mm） | 支架負(fù)載（kg） | 支撐數(shù)量 |
SQT 0609 | 900*600*800 | 100 | 60 | 120*120 | 400 | 4 |
SQT 0909 | 900*900*800 | 100 | 90 | 120*120 | 400 | 4 |
SQT 0810 | 1000*800*800 | 100 | 88 | 120*120 | 400 | 4 |
SQT 0612 | 1200*600*800 | 100 | 80 | 120*120 | 400 | 4 |
SQT 0812 | 1200*800*800 | 100 | 106 | 120*120 | 400 | 4 |
SQT 0912 | 1200*900*800 | 100 | 120 | 120*120 | 400 | 4 |
SQT 1012 | 1200*1000*800 | 100 | 135 | 120*120 | 400 | 4 |
SQT 0915 | 1500*900*800 | 100 | 150 | 120*120 | 600 | 4 |
SQT 1015 | 1500*1000*800 | 200 | 200 | 200*200 | 600 | 4 |
SQT 1215 | 1500*1200*800 | 200 | 243 | 200*200 | 600 | 4 |
SQT 1515 | 1500*1500*800 | 200 | 304 | 200*200 | 600 | 4 |
SQT 1018 | 1800*1000*800 | 200 | 243 | 200*200 | 800 | 4 |
SQT 1218 | 1800*1200*800 | 200 | 292 | 200*200 | 800 | 4 |
SQT 1818 | 1800*1800*800 | 200 | 438 | 200*200 | 800 | 4 |
SQT 1020 | 2000*1000*800 | 200 | 270 | 200*200 | 800 | 4 |
SQT 1220 | 2000*1200*800 | 200 | 324 | 200*200 | 800 | 4 |
SQT 1520 | 2000*1500*800 | 200 | 405 | 200*200 | 800 | 4 |
SQT 2020 | 2000*2000*800 | 200 | 540 | 200*200 | 800 | 4 |
SQT 1224 | 2400*1200*800 | 200 | 390 | 200*200 | 800 | 4 |
SQT 1524 | 2400*1500*800 | 200 | 486 | 200*200 | 800 | 4 |
SQT 1030 | 3000*1000*800 | 300 | 480 | 200*200 | 1200 | 6 |
SQT 1230 | 3000*1200*800 | 300 | 576 | 200*200 | 1200 | 6 |
SQT 1530 | 3000*1500*800 | 300 | 720 | 200*200 | 1200 | 6 |
SQT 1235 | 3500*1200*800 | 300 | 672 | 200*200 | 1200 | 6 |
SQT 1535 | 3500*1500*800 | 300 | 710 | 200*200 | 1200 | 6 |
SQT 1540 | 4000*1500*800 | 300 | 960 | 200*200 | 1200 | 6 |
SQT 1545 | 4500*1500*800 | 300 | 1080 | 200*200 | 1200 | 6 |
SQT 1550 | 5000*1500*800 | 300 | 1200 | 200*200 | 1800 | 10 |
SQT 1560 | 6000*1500*800 | 300 | 1440 | 200*200 | 1800 | 12 |
